步進壓電平臺SPS35XS是基於步進壓電致動器（SPA）的原理設計。它可以提供：
♦更長的行程
♦微/納米解析度的定位
它可以通過LA75系列的單通道線性放大器驅動。這種平臺可以運行超過10e6個週期，這是由於它採用了先前廣受好評的摩擦面設計。該步進壓電平臺可以應用於微定位和閥門等領域中。其他指標的步進壓電平臺可以通過使用更小或更大的APA®致動器改造而成。
|
參數
|
單位
|
SPS35XS
|
|
型號
|
|
V- SPSXS35
|
|
備註
|
|
Preliminary data
|
|
感測器
|
|
MAG
|
|
主動軸
|
|
TX
|
|
最大空載位移[Tx]
|
mm
|
5
|
|
Z方向的最大面外位移
|
um
|
10
|
|
Z方向的最大轉動
|
urad
|
0
|
|
XY方向的最大轉動
|
urad
|
5
|
|
電壓範圍
|
V
|
-20…150
|
|
硬度
|
N/um
|
0.5
|
|
高度(Z 軸)
|
mm
|
15
|
|
尺寸(X & Y 軸)
|
mm
|
30*30
|
|
解析度
|
nm
|
35.0
|
|
品質
|
g
|
20
|
|
空載共振頻率(在致動方向)
|
Hz
|
200
|
|
回應時間
|
ms
|
2.50
|
|
電容 (每個電氣介面)
|
uF
|
0.25
|
|
使用壽命（週期）
|
|
1.E+06
|
|
機械介面(有效負載)
|
|
4M1.6螺紋孔[]17*27
|
|
機械介面(框架)
|
|
4M1.6螺紋孔[]17*22
|
|
電氣介面
|
|
1RG 178B/U 同軸電纜
|
如需要點擊查看文件資料，請註冊成為A&P會員，謝謝！