步進壓電致動器(SPA)是一種新型的長行程線性壓電電機,可用於微/納米定位等應用。其實這些應用在使用傳統的APA器件時,效果也非常理想。
SPA的長行程是通過電機逐步疊加實現的,在每步之間致動器的位置被鎖定。當執行長行程時,它也可以在形變模式下操作,用於微調。在這種情況下,行程正比於施加的電壓,由此可以得到納米級的解析度和較高的頻寬。這些致動器可與CEDRAT標準線性放大器CA45、LA75配套使用。
參數
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單位
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SPA35XS
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SPA60SM
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型號
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V-SPAXS35
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V-SPASM60
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備註
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初步資料
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初步資料
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感測器
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MAG
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MAG
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基於
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APA35XS
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APA60SM
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長行程(M1)
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mm
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10.0
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20.0
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硬度1(M1)
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N/um
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88
|
88
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硬度2(M1)
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N/um
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0.49
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1.38
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最大速度(M1)
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mm/s
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30
|
30
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未工作時的阻滯力(M1.M2)
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N
|
3
|
15
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最大致動力(M1)
|
N
|
1
|
5
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高解析度短行程(M2)
|
um
|
55
|
80
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解析度(M2)
|
nm
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0.55
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0.8
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頻寬(M2)**
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Hz
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550
|
600
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電容 (M1,M2)
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uF
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0.25
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1.55
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沿主動軸的高度
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mm
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30
|
50
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底座尺寸
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mm
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16*16
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27*27
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慣性品質
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g
|
30
|
70
|
品質
|
g
|
50
|
120
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最大電流消耗
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mA
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117
|
388
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最大輸入功率
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W
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11.25
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37.1
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保持消耗
|
W
|
0
|
0
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電氣介面
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1 RG178B/U同軸電纜
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1 RG178B/U 同軸電纜
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LA75 相容性
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A*-B-C
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B-C
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CA45 相容性
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是
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否
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