雙傾斜平移台採用了2對APA35XS，可以產生3種類型的運動：
♦當兩對APA35XS同步致動時，Z軸運動（平移）可達35 μm
♦ 當兩個致動器以相反的相位致動時，ΘX 和/或 ΘY 運動（傾斜）可達+/- 2 mrad
雙傾斜平移台基於致動器設計，配備應變計以消除回程差。為了獲得三維運動，需要4通道的驅動器。如果只要求兩個傾斜運動，則只需要兩個通道即可。（可使用75系列驅動器的推拉模式）
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參數
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單位
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DTT35XS
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型號
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V- DTTXS35
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備註
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初步資料
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感測器
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SG
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主動軸
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RX,RY,TZ
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最大空載位移[Tz]
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um
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35.0
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最大角位移
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mrad(+/-)
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2.00
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出平面位移[Tx, Ty]
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um
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10.0
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電壓範圍
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V
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-20…150
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硬度
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N/um
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2.0
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高度(Z 軸)
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mm
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22.0
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直徑
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mm
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38.1
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縱向解析度[Tz]
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nm
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0.4
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角度解析度[Rx,Ry]
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urad
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0.02
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品質
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g
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35
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空載共振頻率（在致動方向）
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Hz
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3200
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回應時間
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ms
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0.16
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電容(每個電氣介面)
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uF
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0.50
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機械介面(有效載荷)
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平坦表面Ф15mm
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機械介面(框架)
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圓柱形 Ф38.1mm
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電氣介面
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PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long and shield with sub D15 connector
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