傾斜平移台採用了2個APA®致動器，可以產生兩種類型的運動：
♦Z當兩個致動器同步致動時，軸運動（平移）可達80μm
♦當兩個致動器相反致動時，ΘX運動（平移）可達+/- 0.6°
傾斜平移台TT60SM基於APA60SM而設計，配備應變計以消除回程差。如果只要求傾斜運動，僅需要一個通道。TT60SM要求使用推拉式驅動器。
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參數
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單位
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TT60SM
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型號
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V- TT60SM
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備註
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-
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感測器
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SG
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主動軸
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TZ,RX
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最大空載位移[Tz]
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um
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80.0
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角位移[Rx]
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mrad(+/-)
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11.00
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Y方向的最大面外位移
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um
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25.0
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電壓範圍
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V
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-20…150
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硬度
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N/um
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2.0
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高度(Z 軸)
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mm
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18.0
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寬度(Y 軸)
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mm
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13.0
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長度(X 軸)
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mm
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25.0
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縱向解析度[Tz]
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nm
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0.8
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角度解析度[Rx]
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urad
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0.1
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品質
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g
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65
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空載共振頻率(在致動方向)
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Hz
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3000
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回應時間
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ms
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0.17
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電容 (每個電氣介面)
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uF
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1.55
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機械介面(有效負載)
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平坦表面 2.5 *8mm2
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機械介面(框架)
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2 M2螺紋孔
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電氣介面
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4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug
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