壓電平臺XY200M沿X和Y軸的行程為200 μm，最高可承受3kg的負載。應用領域包括原子力或掃描隧道顯微鏡和掩膜定位等等。這種平臺基於APA200M設計，具有很高的硬度，可以配備精度可達10nm的應變計或渦流感測器。平臺沿X，Y和Z軸的轉動非常小。移動外框可根據要求定制。緊湊型XY25XS平臺非常適合用於光纖定位，微掃描等應用。
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參數
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單位
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XY25XS
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XY200M
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型號
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V-XYXS25
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V-XYM200
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備註
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-
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-
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感測器
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SG
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SG,ECS
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主動軸
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TX,TY
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TX,TY
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最大空載位移[Tx,Ty]
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um
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25
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200
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Z方向最大面外位移
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um
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0.50
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1.00
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Z方向的最大轉動
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urad
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50
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240
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XY方向的最大轉動
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urad
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10
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50
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電壓範圍
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V
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-20…150
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-20…150
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硬度
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N/um
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2.50
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0.59
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高度(Z 軸)
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mm
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18.0
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22.0
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尺寸(X&Y 軸)
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mm
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50*50
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100*100
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解析度
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nm
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0.3
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2.0
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品質
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g
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80
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180
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空載共振頻率(在致動方向)
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Hz
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3000
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580
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回應時間
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ms
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0.17
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0.86
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電容 (每個電氣介面)
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uF
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0.50
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6.30
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機械介面(有效負載)
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1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm
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3Ф2.7mm holes on
Ⅱ38
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機械介面 (框架)
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4 Ф2.8mm holes on []45
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4 Ф4.5mm holes on []84
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電氣介面
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2 RG178B/U同軸電纜
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2 RG178B/U同軸電纜
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