參數

單位

X60S

X120S

型號

V-XS60

V-XS120

備註

初步資料

初步資料

感測器

SG

SG

主動軸

TX

TX

最大空載位移[Tx]

um

55

115

Z方向最大面外位移

um

0.50

0.50

Z方向的最大轉動

urad

-

-

XY方向的最大轉動

urad

5

5

電壓範圍

V

-20…150

-20…150

硬度

N/um

1.82

0.33

高度(Z 軸)

mm

12

12

尺寸(X&Y 軸)

mm

30*30

30*30

解析度

nm

0.6

1.2

品質

g

70

70

空載共振頻率(在致動方向)

Hz

600

1200

回應時間

ms

0.83

0.42

電容 (每個電氣介面)

uF

1.55

1.55

機械介面(有效負載)

4 M3 螺紋孔[]17*17

4 M3螺紋孔[]17*17

機械介面(框架)

4 Ф3.5mm孔 []17*17

4 Ф3.5mm孔 []17*17

電氣介面

2 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug

2 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug