XM系列較精密線性電動平移臺 特點： ● 最小位移增量僅1nm ● 非接觸式、直驅系統保證了高動態和可靠的較精密運動 ● 亞納米高準確性glass scale 編碼器提供較精確位置反饋，重復性為80nm ● 超大，無鐵磁性，較高效率線性馬達使發熱量較小 ● 超靜音仿蠕動交叉滾珠軸承保證了無漣波運動