ENT- 5
5 第一代 「ENT」
通過減少測量環境的幹擾實現高數據再現性
由於純國產，得以實現的親民 GUI適用於 0.5µN-2,000 mN 的廣泛試驗負載
特 徴
●知道所有材料的硬度
● 薄膜材料，如電鍍、硬膜等
● 樹脂材料，薄膜材料
● 極薄膜，如 DLC
● 功能樹脂膜和表面改性層
● 微粒和粉末材料
●納米張力試驗
● 獲得薄膜、極表面、微小區域的硬度 · 彈性模量等機械性能
● 分析載荷和位移曲線以求特性，無需壓力痕跡觀察
● 符合 ISO 14577-1/JIS Z 2255 標準
●可測量的材料
1. 溫度管理機製
● 抑製樣品、試驗機的熱膨脹
● 風擋內部進行 士 0.1℃的溫度管理
● 測量部件使用低熱膨脹材料（諾維奈特）
● 減少外部氣流的影響
2. 高精度定位平臺
● 采用本公司開發的用於電子束繪圖設備的高精度舞臺技術
● 0.1 µm 最小移動距離
● 觀察倍率 以 2,000 倍測定任意位置（20 倍標準物鏡，配合使用數字變焦）
3. 除振機構
● 抗振動高精度楔形移動平臺
● 標配主動式減震器
4.軟件
● 壓頭校正、溫度漂移校正、日常檢查提醒等輔助功能
● 久經考驗的易用性
5.數據可重復性
● 抑製振動和溫度變化等幹擾影響的機構，提高了數據再現性
● 連續測量也能獲得穩定的數據
6.維護性
● 高負荷單元、低負荷單元易於更換
● 通過更換設備校準減少了設備停機時間
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載重系統
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載荷
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載荷單元：5µN至2,000 mN
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低負荷單位：0.5µN至10mN
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載荷分辨率
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高負荷:T5 nN
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低負荷單位：0.03nN
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負載系統
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電磁力式
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位移計
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計測量範圍
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士50µm
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測量分辨率
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0.3 pm
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計量方式
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光學量測
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移動手臺
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樣品尺寸 (標準値)
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φ50 Xt3.5mm
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可測量區域
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X50mm,Y40mm
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最小移動距離
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0.1μm
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光學觀察系統
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物鏡系統
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20倍※標準配置 (可選10倍、50倍、100倍）
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監控器倍率
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500倍* 標準規格 (數碼變焦使用時 2,000倍)
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本體
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可搭載載荷單元數
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1式
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除振方式
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主動
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溫度管理
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風擋以0.1°C為單位進行管理
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外形尺寸和安裝條件
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試驗機主體
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650mm(W) x 650mm(D) x 1,200mm(H)
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電源
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1口單相100V/10AX
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溫度
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20～25℃ (溫度無急遽変化）
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濕度
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60%以下
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地板振動
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0.5 gal pp或更小 (低頻振動）
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選項 (刀柄）
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加熱載臺
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高負荷單元:最大加熱溫度250℃
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低負荷單元:最大加熱溫度180℃
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冷卻載臺
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溫度控製範圍:-30°C到100°C
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樹脂包裝載臺
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用於截面觀察等的樹脂包埋樣品的載臺
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定製載臺/夾具
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按照樣品設計、製作。
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可選 (測量）
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表面輪廓試驗
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這是一種利用壓頭獲取樣品表面形狀並瞄準的功能。
對於凹凸不平的大樣本有效。
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粘彈性試驗
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當壓力子以恒定載荷推入樣品時，可以以任意頻率產生載荷，以測量儲存模量 (E『)，
損耗模量 (E』）和損耗系數 (tanδ)。此外，通過同時使用加熱載物臺，
也可以評估玻璃化轉變點 (Tg)。
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軟化溫度測量
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可以通過加熱載臺增加溫度來測量軟化溫度，同時在恒定載荷下使壓頭接觸樣品。
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水下試驗
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可以對浸泡在水中的樣品進行硬度測試。
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顆粒強度試驗
(僅限高載荷單位）
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這是一種利用扁平壓頭對微小顆粒進行壓縮或壓碎測量強度的方法。
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電阻值試驗
(僅限高載荷單位）
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粒子強度測試的附加功能允許在壓縮導電粒子的同時測量粒子的電阻值。
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三位一體
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它可以與其他測試 (如ERA系列的三維測量功能和EDS/EBSD分析) 配合使用。
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