步进压电致动器(SPA)是一种新型的长行程线性压电电机，可用于微/纳米定位等应用。其实这些应用在使用传统的APA器件时，效果也非常理想。
SPA的长行程是通过电机逐步叠加实现的，在每步之间致动器的位置被锁定。当执行长行程时，它也可以在形变模式下操作，用于微调。在这种情况下，行程正比于施加的电压，由此可以得到纳米级的分辨率和较高的带宽。这些致动器可与CEDRAT标准线性放大器CA45、LA75配套使用。
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参数
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单位
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SPA35XS
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SPA60SM
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型号
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V-SPAXS35
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V-SPASM60
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备注
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初步数据
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初步数据
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传感器
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MAG
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MAG
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基于
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APA35XS
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APA60SM
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长行程(M1)
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mm
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10.0
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20.0
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硬度1(M1)
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N/um
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88
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88
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硬度2(M1)
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N/um
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0.49
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1.38
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最大速度(M1)
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mm/s
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30
|
30
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未工作时的阻滞力(M1.M2)
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N
|
3
|
15
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最大致动力(M1)
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N
|
1
|
5
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高分辨率短行程(M2)
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um
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55
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80
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分辨率(M2)
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nm
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0.55
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0.8
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带宽(M2)**
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Hz
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550
|
600
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电容 (M1,M2)
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uF
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0.25
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1.55
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沿主动轴的高度
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mm
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30
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50
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底座尺寸
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mm
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16*16
|
27*27
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惯性质量
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g
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30
|
70
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质量
|
g
|
50
|
120
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最大电流消耗
|
mA
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117
|
388
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最大输入功率
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W
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11.25
|
37.1
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保持消耗
|
W
|
0
|
0
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电气接口
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1 RG178B/U同轴电缆
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1 RG178B/U 同轴电缆
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LA75 兼容性
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A*-B-C
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B-C
|
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CA45 兼容性
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是
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否
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