XM系列较精密线性电动平移台 特点： ● 最小位移增量仅1nm ● 非接触式、直驱系统保证了高动态和可靠的较精密运动 ● 亚纳米高准确性glass scale 编码器提供较精确位置反馈，重复性为80nm ● 超大，无铁磁性，较高效率线性马达使发热量较小 ● 超静音仿蠕动交叉滚珠轴承保证了无涟波运动