| 型号 |
AI-HH-200XY-60Z-154RA |
位移台 |
混合系统 |
行程 - XY |
200 mm (+/-100 mm) |
行程 - Z |
60 mm (+60 mm/-0 mm) |
行程 - θx&θy |
+/- 14 deg |
行程 - θz |
360度连续 |
尺寸(长x宽x高) |
443.2 mm x 410.1 mm x 378 mm |
驱动器 |
XY，直接驱电机(无铁心直线电机)
倾斜与翻转轴（θxθy） ：精密滚珠丝杠无框架扭矩电机
偏摆（θz）: 扭矩电机 |
制动 |
气动释放装置，弹簧锁 |
反馈 |
线性轴：非接触式光学线性编码器
转动轴：非接触式光学旋转编码器 |
轴承 |
交叉滚子轴承 |
电缆 |
高弹性，千万次循环周期，3米长。 |
结构 |
阳极氧化铝6061-T6 |
环境 |
（一般）环境的
可选项：真空版本10-5Torr/10-7Torr |
工作温度 |
0°C to 50°C |
湿度 |
10% to 80% 无结露 |
性能规格 [1] |
(标准版本) |
超级版本，或+ |
纳米nm |
双向重复性 |
XY |
+/- 100 nm |
+/- 70 nm |
Z |
+/- 100 nm |
+/- 70 nm |
θX&θy |
+/- 0.6 arc-sec |
+/- 0.4 arc-sec |
θz |
+/- 0.6 arc-sec |
+/- 0.4 arc-sec |
回程 |
XY |
0 nm / arc-sec
(任何轴上都没回程差) |
Z |
θX&θy |
θz |
最小位移步长 |
XY |
< 20 nm |
Z |
< 20 nm |
θX&θy |
< 0.1 arc-sec |
θz |
< 0.1 arc-sec |
偏摆偏差（θz） |
轴向跳动 |
10 nm |
7 nm |
4 nm |
经向跳动 |
10 nm |
7 nm |
4 nm |
晃动 |
20 arc-sec |
10 arc-sec |
6 arc-sec |
分辨率 |
XY |
标准：~4.88 nm（4096插补）
可选：数字AQB (1 nm - 5000 nm) |
Z |
θX&θy |
~0.02 arc-sec |
θz |
~0.01 arc-sec |
正交性 |
XY |
20 arc-sec |
5 arc-sec |
1 arc-sec |
XZ & YZ |
250 arc-sec |
200 arc-sec |
50 arc-sec |
最大线性速度 [3] |
XY |
500 mm/s |
Z |
30 mm/s |
最大线性加速度[3] |
0.3 G |
最大角速度 [3] |
θX&θy |
60 deg/s |
θz |
1800 deg/s |
最大角加速度 [3] |
θX&θy |
>1000 deg/s² |
θz |
>3600 deg/s² |
最大负载能力 |
20 kg |
装配质量 |
57 kg |