AI-HH-30D-200XY-62Z-80R-CM

位移台

混合六轴机构 (Angulares® )

行程 - XY

200 mm (+/- 100 mm)

行程 - Z

62 mm (+ 62 mm/- 0 mm)

行程 - θx&θy

+/- 30度

行程 - θz

360 度连续

尺寸(长x宽x高)

510 毫米 x 336.5 毫米 x 293.2 毫米

驱动器

XY，θy和θx:直驱电机(无铁心直线电机)
θz:扭矩电机

反馈

线性轴：非接触式光学线性编码器
转动轴：非接触式光学旋转编码器

轴承

交叉滚子轴承

旋转制动器

标准版：无制动器
可选项：气体调节，弹簧制动

电缆

高弹性，千万次循环周期，3米长

结构

阳极氧化铝6061-T6

环境

普通实验室

工作温度

0°C to 50°C

湿度

10% ~ 80% 无结露

性能规格 [1]

(STD)

ULTRA

NANO

双向重复性

XY

+/- 30 nm

Z

+/- 200 nm

θx&θy

+/- 1 arc-sec

θz

+/- 0.5 arc-sec

回程

XY

0 nm / arc-sec
(任何轴上都没回程差)

Z

θx&θy

θz

最小位移步长

XY

< 20 nm

Z

< 20 nm

θx&θy

< 0.1 arc-sec

θz

< 0.1 arc-sec

偏摆偏差（θz）

轴向跳动

12 µm

10 µm

5 µm

轴向跳动

12 µm

10 µm

5 µm

晃动

20 arc-sec

15 arc-sec

10 arc-sec

分辨率

XY

标准: 4.88 nm（4096插补）
可选:数字AQB (1 nm - 5000 nm)

Z

θX&θy

θz

0.04 arc-sec

最大线速度[3]

XY

50  mm/s

Z

15  mm/s

最大线性加速 [3]

XY

0.1 G

Z

0.3 G

最大角速度 [3]

俯仰和翻滚

20 deg/s

偏航

>3000 deg/s

最大角加速度 [3]

俯仰和翻滚

>1000 deg/s²

偏航

>2000 deg/s²

最大有效载荷

5 公斤

装配质量

14公斤