AI-CM-6000
位移台
线性位移台
行程
60 mm (+/- 30 mm)
尺寸(长x宽x高)
130 mm x 120 mm x 32 mm
电机
直驱电机(无铁心直线电机)
反馈
非接触式光学线性编码器
轴承
交叉滚子轴承
电缆
高弹性，千万次循环周期，3米长
结构
阳极氧化铝6061-T6
环境
（一般）环境的 可选项：洁净室和真空环境（10-6 Torr）
工作温度
0°C to 50°C
湿度
10% to 80% 无结露
性能规格[1]
(STD)
ULTRA
NANO
线性位移精度
+/- 3.0 µm
双向线性重复性
+/- 30 nm
分辨率
标准：~4.88 nm（4096插补） 可选：数字AQB (1 nm - 5000 nm和绝对值（1 nm - 100 nm）
直线度
+/- 2.5 µm
+/- 1.5 µm
+/- 1.0 µm
平面度 [2]
θx [2]
+/- 12.0 arc-sec
θz
θy
最大速度 [3]
0.9 m/s
最大加速度 [3]
3.0 G
最大负载能力
10 kg
装配质量
1.4 kg