AI-BSD-5000-Z
位移台
垂直Z位移台
行程
50 mm (+/- 25 mm)
尺寸(长x宽x高)
175 mm x 100 mm 229 mm
电机
带防齿隙螺母, 精密滚珠丝杠
反馈
非接触式光学线性编码器
轴承
交叉滚子轴承
制动
标准版本：气体调节，弹簧制动 可选项：无制动器
平衡（配重）
标准版本：不需要 可选项：气压配重提高负载能力
电缆
高弹性，千万次循环周期，3米长
结构
阳极氧化铝6061-T6
环境
（一般）环境的 可选项：洁净室
工作温度
0°C to 50°C
湿度
10% to 80% 无结露
性能规格 [1]
(标准版本)
超级版本，或+
纳米nm
线性分辨率
+/- 5 µm
+/- 1.0 µm
+/- 0.5 µm
双向线性重复性
+/- 125 nm
+/- 100 nm
分辨率
标准：~4.88 nm（4096插补） 可选：数字AQB (1 nm - 5000 nm)a和绝对值（1 nm - 100 nm）
直线度
+/- 4 µm
平面度 [2]
+/- 4.0 µm
+/- 2.0 µm
θx
+/- 15 arc-sec
θz
θy
最大速度 [3]
0.1 m/s
最大加速度 [3]
1.0 G
最大负载能力
20 kg
最大负载能力（带气动增压）
50 kg
装配质量
7.6 kg