DataRay 的 Beam'R2 很适合许多激光光束分析应用。 Beam'R2 具有标准的 2.5 µm 狭缝和更大的刀口狭缝,能够测量直径小至 2 µm 的光束。 通过选择Si和 InGaAs 或扩展 InGaAs,Beam'R2 可以对 190 nm 至 2500 nm 的光束进行轮廓分析。 扫描狭缝仪器提供比基于相机的系统高得多的分辨率。
DataRay 的 BeamMap2 代表了一种完全不同的实时光束分析方法。 它允许沿光束行进在多个位置进行测量,从而扩展了 Beam'R2 的测量能力。 这种实时狭缝扫描系统在旋转圆盘上的多个 z 平面中使用 XY 狭缝对,同时测量四个不同 轴向位置的光束轮廓。 BeamMap2 独特的设计良好利于实时测量焦点位置、M2、光束发散和指向。
系统特点
ƒ 符合 ISO 标准的光束直径测量
ƒ 端口USB2.0供电
ƒ 自动增益功能
ƒ 用于符合 ISO 11146 标准的 M2 测量的可选载物台附件。
ƒ True2D 狭缝
ƒ 分辨率可达 0.1 µm
ƒ 探测器选项,190 – 2500 nm
ƒ 5 Hz 更新率(用户可调 2-12 Hz)
ƒ 测量高重复脉冲激光
ƒ 脉冲最小 PRR = [500/(光束直径,单位为 µm)] kHz
BeamMap2 增加了以下功能
ƒ 多 z 平面扫描
ƒ XYZ 截面,包括 θ-Φ
ƒ 焦点位置和直径
ƒ 实时 M2、指向和发散
ƒ 使用 BeamMap2-Collimate 实时测量准直光束的发散度
ƒ 以 ±1 µm 的重复精度(取决于光束)识别焦点
ƒ 可选的 LensPlate2 用于到达难以接近的束腰和重新成像波导
应用
ƒ 很小的激光束轮廓测量
ƒ 光学组装和仪器校准
ƒ OEM 集成
ƒ 镜头焦距测试
ƒ 聚焦和校准误差的实时诊断
ƒ 将多个组件实时设置为同一焦点
True2D 狭缝
ƒ 蓝宝石衬底上的 0.4 µm 厚度多层金属膜
ƒ 相对于气隙的优势
ƒ 避免隧道效应
ƒ 气隙通常比宽度更深,并且在高辐照度下会弯曲
规格
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参数
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规格
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BeamMap2
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Beam'R2
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Comments
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波长
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190-1150 nm, 650-1800 nm,
190- 1800 nm, 190-2500 nm
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是
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是
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Si, InGaAs, Si + InGaAs, Si + InGaAs, extended
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扫描光束直径:
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2 µm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)
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是
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是
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X-Y 轮廓和质心分辨率:
测量准确性:
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0.1 µm 或扫描范围的 0.05% ± <2% ± ≤0.5µm
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是
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是
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连续或脉冲
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CW,
脉冲最小 PRR ≈ [500/(光束直径,单位为 µm)]kHz
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是
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是
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光束对准:
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± 1 mrad 结合BeamMap2 Colli Mate
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是
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-
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光束相关
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M2测量:
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1 to >20, ± 5%
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是
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-
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4 Z-平面双曲线拟合
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实时更新:
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5 Hz
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是
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是
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2-12 Hz可调
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最大功率 & 辐照度:
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1 W 总功率 & 0.3 mW/µm2
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是
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是
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蓝宝石狭缝上的金属膜
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增益范围:
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32dB
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是
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是
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12-bit ADC
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显示图形:
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全部:X-Y 位置;光束质量
仅 BeamMap2:M2,焦点; 发散,视轴/指向
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