HybridHexapod®由ALIO Industries研发，旨在解决常规六轴位移台固有的性能限制问题。ALIO的混联六自由度精密位移系统（6-DOF）很好的结合了串联和并联运动结构的优点，又在同时回避了它们的缺点。混联六自由度精密位移系统提供了比传统六轴位移台或堆叠平台更多的功能、纳米级精度、可重复性和很好的六轴运动轨迹。独特的设计包括平行的运动三脚架，它可以控制Z平面的位移和倾斜运动。该三脚架与用于XY平面运动的整体式串联运动平台集成在一起。集成在三脚架顶部（或下方，取决于应用需求）的转台提供360度连续偏航（θ-Z）旋转。混联位移系统可以单独定制每一个轴，提供了从毫米到近乎没有限制范围的XY行程，并在同时保持纳米级的精度。新型正向和反向控制器运动学让用户可以无限数量的编程“工具中心点”位置。HH-30D的±30度倾斜行程是六自由度定位系统可提供的较大角度行程范围，同时也具备ALIO的全系Hybrid Hexapod产品相同的高精度定位性能。

特点

高精度交叉滚柱导轨

直接读取增量或使用绝对编码器控制所有承轴

线性压电电机和/或滚珠丝杆驱动器

无限制编辑工具中心点位置和坐标位移

所有承轴零间隙

主要参数

XY轴行程60mm和100mm，最大450mm（无限制XY行程）

Z轴行程62mm（其他同类产品最大208mm）

Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 连续可调 360 Deg Theta-Z

XYZ 双向重复性小于 ±100nm

角度双向重复性小于 ±0.6 arc-sec

XY轴位移速度可达100mm/s，Z轴位移速度可达20mm/s Z (大于线性电机版)

线性不稳定性小于20nm，角不稳定性小于0.1 arc-sec

应用

非球面和自由光光学检测

封装与探测硅光子

激光微加工（非平面基板和锥度控制）

晶圆测量

相机模块的对准与装配

传感器/图像稳定性测试

光学元件的光纤耦合