臭氧浓度通过多色彩的图形画面显示出来，随着臭氧浓度的增加，LED读数会改变颜色：绿色表示安全浓度，黄色表示警告浓度，红色表示危险浓度。两种型号的臭氧监测仪均采用加热金属氧化物半导体(HMOS)传感器，灵敏度很高，响应速度很快。监测仪结构紧凑，外形尺寸为2-3/8英寸宽 x 3英寸高 x 1-3/8英寸厚。

固定式臭氧监测仪(带报警功能)的测量范围为0.02 到0.14 ppm (如果配有外部数据读出系统，测量范围可以达到0.2 至 0.30 ppm，甚至更多)。当臭氧浓度达到0.1 ppm (危险浓度)时，声音报警动作。主要功能：数据可以输出到数据记录装置；根据臭氧浓度可以控制外部设备运转。 便携式臭氧监测仪的测量范围为0.02 到0.14 ppm。既可以安装于工作现场，也可以带到装置区监测泄漏情况。包括可充电镍氢电池(八小时使用时间)和交流适配器/充电器。